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产品介绍
透射光栅是一种衍射光栅,旨在根据波长以特定角度衍射通过它们的光。与反射光栅相比,它们的对准灵敏度较低,因此在环境的微小变化下使其更加坚固。
此外,与传统的反射光栅相比,透射式光栅在吞吐量方面具有显着优势,并且由于我们能够使用熔融石英基板,我们能够实现深紫外灵敏度。
半导体式掩模对准器在光刻厂处理高达8英寸的晶片。
特征
采用熔融石英基底的紫外线敏感型
与反射光栅相比,吞吐量高
可定制 OEM 解决方案
可重复 — 低单位间变异
环境稳定且坚固的设计
使能技术
透射式光栅规格
VIS-NIR
SWIR
波长范围 (mm) | 线密度 (LPMM) | 入射角 (AOI) | |
UV | 200-400 | 2500 | 15.5 |
UV-VIS | 200-800 | 1250 | 29.9 |
VIS | 362-785 | 1250 | 15.5 |
NIR | 400-1100 | 909 | 16.1 |
SWIR | 900-1700 | 571.4 | 17.8 |
波长范围 (mm) | 线密度 (LPMM) | 入射角 (AOI) | |
1030/1064 | 1000-1100 | 1250 | 39 |
波长范围 (mm) | 线密度 (LPMM) | 入射角 (AOI) | |
840 CWL | 800-880 | 1250/1190 | 30 |
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